本網(wǎng)武漢11月23日電（方政軍 喬進(jìn) 陳婉蘭）日前，國(guó)家自然科學(xué)基金委工程與材料科學(xué)部組織專家，在武漢對(duì)該校劉勝教授主持的國(guó)家重大科研儀器研制項(xiàng)目（部門(mén)推薦）“薄膜生長(zhǎng)缺陷跨時(shí)空尺度原位/實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與調(diào)控實(shí)驗(yàn)裝置”進(jìn)行了結(jié)題驗(yàn)收。項(xiàng)目驗(yàn)收技術(shù)組、財(cái)務(wù)組專家，監(jiān)理組專家，國(guó)家自然科學(xué)基金委黨組成員、副主任陸建華院士，工程與材料科學(xué)部常務(wù)副主任王岐東，湖北省科技廳副廳長(zhǎng)杜耘，校長(zhǎng)張平文院士、副校長(zhǎng)唐其柱等出席，王岐東主持結(jié)題驗(yàn)收會(huì)議。
陸建華線上致辭。他指出，高端芯片制造是我國(guó)科技高速發(fā)展的瓶頸，而薄膜生長(zhǎng)則是高端芯片制造及集成電路領(lǐng)域的基礎(chǔ)。儀器研究項(xiàng)目需要突出研究原創(chuàng)性和科學(xué)價(jià)值，解決科學(xué)問(wèn)題，幫助科學(xué)家解決基礎(chǔ)科學(xué)問(wèn)題。希望項(xiàng)目組專家在驗(yàn)收過(guò)程中，嚴(yán)格對(duì)照項(xiàng)目立項(xiàng)時(shí)的各項(xiàng)指進(jìn)行標(biāo)逐一核對(duì)，同時(shí)幫助自然基金委一起探索儀器項(xiàng)目建設(shè)的新辦法新機(jī)制。他強(qiáng)調(diào)，項(xiàng)目結(jié)題不代表項(xiàng)目結(jié)束，而是新的起點(diǎn)，希望項(xiàng)目負(fù)責(zé)人及研發(fā)人員始終堅(jiān)持永遠(yuǎn)在一線、永遠(yuǎn)在狀態(tài)、永遠(yuǎn)在學(xué)習(xí)，牢記重大儀器項(xiàng)目的科學(xué)使命，搶占國(guó)際科學(xué)發(fā)展的制高點(diǎn)。
王岐東指出，該項(xiàng)目十分前沿、技術(shù)攻關(guān)難度較高。他充分肯定了項(xiàng)目依托單位及合作單位從立項(xiàng)、實(shí)施、再到結(jié)題驗(yàn)收過(guò)程中所作的努力和階段性貢獻(xiàn)，希望專家組專家實(shí)事求是，以高度負(fù)責(zé)的態(tài)度，從技術(shù)、檔案、財(cái)務(wù)各方面按照項(xiàng)目驗(yàn)收指標(biāo)逐一核對(duì)驗(yàn)收，并提出建議性意見(jiàn)和建議。
張平文代表項(xiàng)目建設(shè)單位致辭。他指出，該項(xiàng)目是武漢大學(xué)乃至華中地區(qū)高校首次獲得的國(guó)家重大科研儀器研制項(xiàng)目，武漢大學(xué)倍感責(zé)任重大，使命光榮。他充分肯定了劉勝教授及其科研團(tuán)隊(duì)在項(xiàng)目執(zhí)行過(guò)程中付出的艱辛努力和取得的成果，介紹了武漢大學(xué)從經(jīng)費(fèi)、場(chǎng)地、人才引進(jìn)、研究生培養(yǎng)及項(xiàng)目落地推廣等方面提供的支持，并表示將一如既往支持項(xiàng)目的后續(xù)攻關(guān)和落地轉(zhuǎn)化。
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、剛剛增選的中國(guó)科學(xué)院院士劉勝教授從立項(xiàng)背景、設(shè)備研制進(jìn)展情況、關(guān)鍵模塊研究進(jìn)展等方面匯報(bào)了項(xiàng)目總體研究成果。項(xiàng)目驗(yàn)收專家組認(rèn)真審閱了結(jié)題驗(yàn)收材料，聽(tīng)取了項(xiàng)目組關(guān)于儀器研制的進(jìn)展和成果總結(jié)、項(xiàng)目監(jiān)理組的監(jiān)理情況匯報(bào)以及現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)測(cè)試、財(cái)務(wù)驗(yàn)收和檔案審核情況匯報(bào)，并對(duì)儀器設(shè)備進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)考察。經(jīng)充分討論和質(zhì)詢，專家組認(rèn)為，項(xiàng)目組按照項(xiàng)目任務(wù)書(shū)完成了相關(guān)研究工作，項(xiàng)目任務(wù)書(shū)所列的儀器各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均已實(shí)現(xiàn)，其中部分關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)優(yōu)于預(yù)期目標(biāo)，項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)支出標(biāo)準(zhǔn)合規(guī)，組織管理規(guī)范，一致同意項(xiàng)目通過(guò)結(jié)題驗(yàn)收，結(jié)果評(píng)價(jià)為A。
據(jù)悉，國(guó)家重大科研儀器研制項(xiàng)目（部門(mén)推薦）“薄膜生長(zhǎng)缺陷跨時(shí)空尺度原位/實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與調(diào)控實(shí)驗(yàn)裝置”于2017年獲批立項(xiàng)，歷時(shí)5年多協(xié)同開(kāi)展關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)。該裝置的成功研制，推動(dòng)了我國(guó)寬禁帶半導(dǎo)體材料異質(zhì)異構(gòu)集成等領(lǐng)域核心技術(shù)的發(fā)展，為實(shí)現(xiàn)高端半導(dǎo)體裝備與材料自主化制造奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)，在我國(guó)半導(dǎo)體領(lǐng)域“卡脖子”關(guān)鍵技術(shù)方面取得了原創(chuàng)性突破。
編輯：曉穎
