“常溫25℃測試、低溫-55℃測試、高溫125℃測試，還有-55℃～125℃循環(huán)測試5次?！苯眨L江日報記者在湖北省集成電路產(chǎn)業(yè)計量測試中心看到，一塊塊集成電路板在“冰柜”和“火爐”之間來回“煎熬”，經(jīng)歷著不同溫度下的嚴(yán)苛篩選。
湖北省集成電路產(chǎn)業(yè)計量測試中心最近通過驗收，成為全國第一家省級集成電路產(chǎn)業(yè)計量測試中心。
具有自主知識產(chǎn)權(quán)的測試設(shè)備攻關(guān)微納米尺度下精密測量技術(shù)。長江日報記者 劉斌 攝
集成電路領(lǐng)域計量基礎(chǔ)能力建設(shè)走在全國前列
記者獲悉，湖北省集成電路產(chǎn)業(yè)計量測試中心由中國船舶集團(tuán)第七〇九研究所籌建，通過考核驗收并獲批成立，標(biāo)志著湖北省在集成電路領(lǐng)域計量基礎(chǔ)能力建設(shè)走在全國前列，服務(wù)經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展的能力水平有了新的突破。
集成電路產(chǎn)業(yè)屬于國家十大重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)“新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)”領(lǐng)域，俗稱“芯片”產(chǎn)業(yè)，是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心，是支撐經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展和保障國家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)。
湖北省目前擁有芯片設(shè)計、芯片制造、封裝材料等相關(guān)企業(yè)200多家，是國家集成電路產(chǎn)業(yè)四大集聚區(qū)之一。集成電路產(chǎn)業(yè)也是武漢大力發(fā)展的重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)之一。2022年1月，武漢市發(fā)布了《關(guān)于促進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的意見》，到2025年，武漢市的芯片產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值將超過1200億元。
作為集成電路的“主產(chǎn)地”，武漢光谷正在形成一個完整的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈，包括材料、設(shè)計、制造、封裝測試和應(yīng)用完成等環(huán)節(jié)。
湖北省集成電路產(chǎn)業(yè)計量測試中心相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，該中心建設(shè)目的在于找到并解決集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中核心關(guān)鍵參數(shù)的測量問題，解決“測不了、測不全、測不準(zhǔn)”的痛點(diǎn)難點(diǎn)，保障集成電路產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。
省、市市場監(jiān)管局相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，作為重要的計量技術(shù)資源，該中心可以為湖北省內(nèi)及周圍省市集成電路相關(guān)企業(yè)的產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供專業(yè)、高端計量檢測服務(wù)和科技創(chuàng)新服務(wù)平臺，可縮短產(chǎn)品的檢測、研發(fā)和生產(chǎn)周期，助力武漢建設(shè)具有全國影響力科技創(chuàng)新中心。
具有自主知識產(chǎn)權(quán)的測試設(shè)備攻關(guān)微納米尺度下精密測量技術(shù)。長江日報記者 劉斌 攝
攻關(guān)微納米尺度下精密測量技術(shù)
記者在湖北省集成電路產(chǎn)業(yè)計量測試中心看到，由中國船舶集團(tuán)第七〇九研究所自主研發(fā)的四探針測試系統(tǒng)上，設(shè)備正在進(jìn)行最后階段的性能調(diào)試，對晶圓的鍍膜厚度進(jìn)行檢測試驗。
晶圓是指集成電路生產(chǎn)制造所用的高純度硅晶片，是生產(chǎn)集成電路所用的載體，集成電路工藝生產(chǎn)中對晶圓的鍍膜厚度最小可接近10納米，僅為一根頭發(fā)絲直徑的1/6000。工藝檢測設(shè)備不僅要測得出，還要測得準(zhǔn)。
該中心計量科研工程師介紹，四探針測試系統(tǒng)用于監(jiān)控半導(dǎo)體工藝制程中電阻率、金屬薄膜厚度等參數(shù)，縮小國產(chǎn)四探針測試設(shè)備與進(jìn)口產(chǎn)品在自動化程度、測試精度、測試速度等方面的差距。除支持現(xiàn)階段主流6英寸—12英寸晶圓測試，還可兼容未來更先進(jìn)的18英寸晶圓，是半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中的重點(diǎn)檢測設(shè)備之一。
集成電路測試的一些項目包括外觀檢查，常溫及低溫、高溫等不同條件下判斷元器件是否能達(dá)到正常性能參數(shù)等檢測項目。該中心檢測組負(fù)責(zé)人舉例，手機(jī)在熱得發(fā)燙的情況下還能正常運(yùn)轉(zhuǎn)，就要求其中的集成電路板或者芯片事先通過嚴(yán)格檢測。
晶圓鍍過膜后明亮如鏡。長江日報記者 劉斌 攝
全國集成電路測試系統(tǒng)計量服務(wù)近七成由這里提供
據(jù)悉，全國集成電路測試系統(tǒng)的計量服務(wù)近七成由位于武漢光谷的該中心提供。
該中心通過開展集成電路關(guān)鍵參數(shù)測試技術(shù)等研究，“磁吸”一批龍頭企業(yè)、高校、科研機(jī)構(gòu)、設(shè)備制造商、其他計量技術(shù)機(jī)構(gòu)等群體，形成集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)聯(lián)盟，向全國范圍輻射。近年來為國內(nèi)120余家單位提供集成電路測試系統(tǒng)計量服務(wù)。
中心建立了多項集成電路參數(shù)最高計量標(biāo)準(zhǔn)，集成電路測試能力處于國內(nèi)第一梯隊，具備處理器、存儲器等高性能集成電路測試能力，現(xiàn)有計量能力覆蓋國內(nèi)在用集成電路測試系統(tǒng)90％以上。
該中心成立后，可為湖北省乃至中部地區(qū)各類芯片提供全產(chǎn)業(yè)鏈、全生命周期、全溯源鏈和前瞻性的計量測試服務(wù)，助力打造萬億級光電子信息產(chǎn)業(yè)，同時支撐集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。
