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全國首家省級集成電路產(chǎn)業(yè)計量測試中心在漢成立
2023-08-14 20:54:00   來源:長江日報

“常溫25℃測試、低溫-55℃測試、高溫125℃測試,還有-55℃~125℃循環(huán)測試5次?!苯眨L江日報記者在湖北省集成電路產(chǎn)業(yè)計量測試中心看到,一塊塊集成電路板在“冰柜”和“火爐”之間來回“煎熬”,經(jīng)歷著不同溫度下的嚴(yán)苛篩選。

湖北省集成電路產(chǎn)業(yè)計量測試中心最近通過驗收,成為全國第一家省級集成電路產(chǎn)業(yè)計量測試中心。

具有自主知識產(chǎn)權(quán)的測試設(shè)備攻關(guān)微納米尺度下精密測量技術(shù)。長江日報記者 劉斌 攝

集成電路領(lǐng)域計量基礎(chǔ)能力建設(shè)走在全國前列

記者獲悉,湖北省集成電路產(chǎn)業(yè)計量測試中心由中國船舶集團(tuán)第七〇九研究所籌建,通過考核驗收并獲批成立,標(biāo)志著湖北省在集成電路領(lǐng)域計量基礎(chǔ)能力建設(shè)走在全國前列,服務(wù)經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展的能力水平有了新的突破。

集成電路產(chǎn)業(yè)屬于國家十大重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)“新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)”領(lǐng)域,俗稱“芯片”產(chǎn)業(yè),是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心,是支撐經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展和保障國家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)。

湖北省目前擁有芯片設(shè)計、芯片制造、封裝材料等相關(guān)企業(yè)200多家,是國家集成電路產(chǎn)業(yè)四大集聚區(qū)之一。集成電路產(chǎn)業(yè)也是武漢大力發(fā)展的重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)之一。2022年1月,武漢市發(fā)布了《關(guān)于促進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的意見》,到2025年,武漢市的芯片產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值將超過1200億元。

作為集成電路的“主產(chǎn)地”,武漢光谷正在形成一個完整的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈,包括材料、設(shè)計、制造、封裝測試和應(yīng)用完成等環(huán)節(jié)。

湖北省集成電路產(chǎn)業(yè)計量測試中心相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹,該中心建設(shè)目的在于找到并解決集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中核心關(guān)鍵參數(shù)的測量問題,解決“測不了、測不全、測不準(zhǔn)”的痛點(diǎn)難點(diǎn),保障集成電路產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。

省、市市場監(jiān)管局相關(guān)負(fù)責(zé)人表示,作為重要的計量技術(shù)資源,該中心可以為湖北省內(nèi)及周圍省市集成電路相關(guān)企業(yè)的產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供專業(yè)、高端計量檢測服務(wù)和科技創(chuàng)新服務(wù)平臺,可縮短產(chǎn)品的檢測、研發(fā)和生產(chǎn)周期,助力武漢建設(shè)具有全國影響力科技創(chuàng)新中心。

具有自主知識產(chǎn)權(quán)的測試設(shè)備攻關(guān)微納米尺度下精密測量技術(shù)。長江日報記者 劉斌 攝

攻關(guān)微納米尺度下精密測量技術(shù)

記者在湖北省集成電路產(chǎn)業(yè)計量測試中心看到,由中國船舶集團(tuán)第七〇九研究所自主研發(fā)的四探針測試系統(tǒng)上,設(shè)備正在進(jìn)行最后階段的性能調(diào)試,對晶圓的鍍膜厚度進(jìn)行檢測試驗。

晶圓是指集成電路生產(chǎn)制造所用的高純度硅晶片,是生產(chǎn)集成電路所用的載體,集成電路工藝生產(chǎn)中對晶圓的鍍膜厚度最小可接近10納米,僅為一根頭發(fā)絲直徑的1/6000。工藝檢測設(shè)備不僅要測得出,還要測得準(zhǔn)。

該中心計量科研工程師介紹,四探針測試系統(tǒng)用于監(jiān)控半導(dǎo)體工藝制程中電阻率、金屬薄膜厚度等參數(shù),縮小國產(chǎn)四探針測試設(shè)備與進(jìn)口產(chǎn)品在自動化程度、測試精度、測試速度等方面的差距。除支持現(xiàn)階段主流6英寸—12英寸晶圓測試,還可兼容未來更先進(jìn)的18英寸晶圓,是半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中的重點(diǎn)檢測設(shè)備之一。

集成電路測試的一些項目包括外觀檢查,常溫及低溫、高溫等不同條件下判斷元器件是否能達(dá)到正常性能參數(shù)等檢測項目。該中心檢測組負(fù)責(zé)人舉例,手機(jī)在熱得發(fā)燙的情況下還能正常運(yùn)轉(zhuǎn),就要求其中的集成電路板或者芯片事先通過嚴(yán)格檢測。

晶圓鍍過膜后明亮如鏡。長江日報記者 劉斌 攝

全國集成電路測試系統(tǒng)計量服務(wù)近七成由這里提供

據(jù)悉,全國集成電路測試系統(tǒng)的計量服務(wù)近七成由位于武漢光谷的該中心提供。

該中心通過開展集成電路關(guān)鍵參數(shù)測試技術(shù)等研究,“磁吸”一批龍頭企業(yè)、高校、科研機(jī)構(gòu)、設(shè)備制造商、其他計量技術(shù)機(jī)構(gòu)等群體,形成集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)聯(lián)盟,向全國范圍輻射。近年來為國內(nèi)120余家單位提供集成電路測試系統(tǒng)計量服務(wù)。

中心建立了多項集成電路參數(shù)最高計量標(biāo)準(zhǔn),集成電路測試能力處于國內(nèi)第一梯隊,具備處理器、存儲器等高性能集成電路測試能力,現(xiàn)有計量能力覆蓋國內(nèi)在用集成電路測試系統(tǒng)90%以上。

該中心成立后,可為湖北省乃至中部地區(qū)各類芯片提供全產(chǎn)業(yè)鏈、全生命周期、全溯源鏈和前瞻性的計量測試服務(wù),助力打造萬億級光電子信息產(chǎn)業(yè),同時支撐集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。


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